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MEMS


微機電系統(MEMS)也稱微電子機械系統、微系統、微機械。
中文全稱
微機電系統
英文全稱
Micro Electromechanical System
簡稱
MEMS

MEMS是指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置,其內部結構一般在微米甚至納米量級,是一個獨立的智能系統。主要由傳感器、動作器(執行器)和微能源三大部分組成。


MEMS的特點就是小(1-100微米),非常小,比頭發絲還小(70微米)。


MEMS的原理:把機械臂與電磁感應圈做成一個吸引電級系統,通電后,電磁像磁鐵一樣把懸臂吸引過來,和傳輸線連上,這是開;斷電后,磁性消失,懸臂與傳輸線斷開,這是關。

MEMS的應用:MEMS在我們生產,甚至生活中早已無處不在了,智能手機,健身手環、打印機、汽車、無人機以及VR/AR頭戴式設備,部分早期和幾乎所有近期電子產品都應用了MEMS器件。

MEMS在光通信行業的應用包括:MEMS VOA(可調光衰減器)、MEMS光開關、MEMS光透鏡陣列、MEMS光可調濾波器等。

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